EUV samkeppni geisar til jaðar hálfleiðara búnaðar

Umhverfis nýja kynslóð hálfleiðara framleiðslutækninnar „EUV (Extreme Ultraviolet Light)“ hefur samkeppni meðal tæknifyrirtækja aukist. Tokyo Electronics mun fjárfesta í háum þróunarkostnaði á reikningsárinu 2020 (frá og með mars 2021) og pöntunarbók Lasertec hefur tvöfaldast á liðnu ári. Á ESBV-tengdum tækjamarkaði einokar hollenska ASML kjarnaljósmyndavélin, en á sviðum skoðunar og ljósgjafa batnar viðvera japönskra fyrirtækja.

Toshiki Kawai, forseti Tokyo Electronics, sem er þriðji stærsti framleiðandi framleiðsla á hálfleiðara framleiðslutækjum, sagði: „Ef EUV verður vinsælt mun aukning eftirspurnar eftir tækjum með auknum hætti aukast.“ Á reikningsárinu 2020 mun það fjárfesta hátt í 135 milljarða jena í rannsóknar- og þróunarkostnað. .

Kosturinn við Tokyo Electronics er „Coater Developer“. Þessi búnaður er notaður til að húða sérstaka efnavökva á kísilþurrku sem hálfleiðara efni til að þróa hann. Á sviði fjöldaframleiðslubúnaðar EUV er markaðshlutdeild fyrirtækisins 100%. Gert er ráð fyrir að sala samstæðunnar á þessu fjárlagaári verði 1,28 billjónir jena. Meira en 10% af þessu verður notað til rannsókna og þróunar til að treysta fremstu röð á vinsælustigi ESB.

Á markaði fyrir hálfleiðara framleiðslu búnaðar, meira en 6 billjónir jen á ári, eiga sér stað kynslóðabreytingar.

Fínni hringrásarbreidd hálfleiðara, því meiri árangur og núverandi klippaafurð er 5 nanómetrar. Til að flytja svona þunna hringrás í kísilþurrku, er litrófsvélin frá EUV ómissandi. Með vaxandi framboði af ASML, eina fjöldaframleidda EUV aðferðinni í heiminum, er þróunarsamkeppni þar með talin jaðarbúnaður svo sem húðun og ljósgjafar einnig hafin.

Tákn kynslóðabreytingarinnar er framleiðslubúnaðurinn Lasertec. Ef það eru gallar í ljósmyndamaskunni sem upprunalega hringrásarborðið, mun galli hálfleiðarans aukast í samræmi við það. Fyrirtækið framleiðir prófunarbúnað sem styður EUV og pantanir þess frá júlí 2019 til mars 2020 hafa aukist 2,2 sinnum frá sama tímabili í fyrra og náð 65,8 milljörðum jena. Gert er ráð fyrir að tveir þriðju hlutar árlegra pantana séu tengdir ESB-völdum.

Að auki eiga sér stað hörð átök milli japönskra fyrirtækja. Á sviði rafeindgeislamaskarvélar er NuFlare Technology Toshiba að ná sambandi við JEOL og IMS NANOFABRICATION (Austurríki). Áherslan er á þróun „Multi-Beam“ tækni sem notar 260.000 leysigeisla.

Í janúar hrakaði Toshiba frá HOYA, sem hafði frumkvæði að óvinveittu TOB (opinberu útboði) og treysti stjórn sinni á Niu Fulai. 25 nýlega sendir þróunartæknimenn o.fl., hyggjast útvega ESB-stuðnings næstu kynslóðar litografibúnað innan 2020.

Gigaphoton (staðsett í Oyama City, Tochigi hérað), dótturfyrirtæki Komatsu sem framleiðir leysirheimildir, hlakkar til endurkomu. Fyrir tilkomu EUV varð fyrirtækið eitt af tveimur efstu á sviði ljósgjafa fyrir litografavélar. Hins vegar er það af ástæðum eins og kaupum á samkeppnisaðila ASML að missa nærveru sína. Gigaphoton leitast við að þróa hágæða ljósgjafaþætti áður en ASML kynnir næstu kynslóð búnaðar ESB til að endurheimta markaðshlutdeild.

Bakgrunnur fyrirtækja til að flýta fyrir þróun EUV búnaðar er smækkunarkeppnin sem Samsung rafeindatækni og TSMC hófu. Eftirspurnin eftir afkastamiklum hálfleiðara eins og 5G er mikil og fyrirtækin tvö keppa um hverja ASML lithografíuvél að verðmæti yfir 20 milljarðar jena. Í þessu ferli aukast viðskiptatækifæri fyrir nærliggjandi framleiðslutæki fyrirtækja.

Tölfræði frá Alþjóðasamtökum hálfleiðara búnaðar og efna (SEMI) og Semiconductor Manufacturing Equipment Association of Japan (SEAJ) sýna að markaðshlutdeild hálfleiðara framleiðslutækja, sem framleiddur var í Japan, var 31,3% árið 2019, sem hefur sveiflast um 30% áður 20 ár.

Á sviði lithografíubúnaðar höfðu Nikon og Canon áður sópað heimsmarkaðnum, en mistókst í samkeppni við ASML og lentu á eftir í þróun EUV. Á hálfleiðarasviðinu, þegar framleiðsluferlið verður erfitt, eykst tilhneiging vinningshafa-taka-allra. Kynslóðabreytingin sem tekur EUV sem tækifæri mun einnig flýta fyrir lifun þeirra fittustu í tækjabúnaði.

„Fjárfestingin í nýjasta búnaði á meginlandsmarkaði er hætt,“ andvarpaði yfirmaður ESB-tengdra hlutar- og íhlutafyrirtækja. Þar sem hollensk stjórnvöld samþykktu það ekki, hefur ASML ekki getað flutt út lithografavélar ESB til meginlandsins. Að auki er kaup á jaðarbúnaði og hlutum einnig stöðvuð.

Það er viðskipti núning milli Kína og Bandaríkjanna á bak við það. Ef ekki er hægt að flytja inn ASML búnað, munu framleiðendur hálfleiðara á meginlandi fylgja eftir í smærri samkeppni. Meginstjórnin leggur fram það markmið að sjálfstætt hlutfall hálfleiðara verði 40% árið 2020 og 70% fyrir 2025, en það er erfitt að ná því. Margar skoðanir telja að Bandaríkin beittu hollensku stjórninni til að nota það sem vopn refsiaðgerða.

Tölfræði frá Alþjóðasamtökum hálfleiðara búnaðar og efna sýnir að markaður fyrir hálfleiðara framleiðslutæki árið 2019 var 59,7 milljarðar Bandaríkjadala, sem er 59% aukning frá árinu 2014. Á þessu tímabili hefur meginlandsmarkaðurinn aukið viðveru sína og hlutdeild hans í heiminum heildarmarkaður hefur aukist úr 11,6% árið 2014 í 22,5%. Hjá japönskum hálfleiðara framleiðslutækjafyrirtækjum er meginlandið orðið markaður sem erfitt er að horfa framhjá.

Tækniþróun ESB er erfið og R & D kostnaður allra fyrirtækja stækkar. Ef markaðurinn stækkar ekki lengur mun arðsemi fjárfestinga seinka og erfitt getur verið að þróa nýja tækni.